佐治亚理工学院乔治·W·伍德拉夫机械工程学院,属于该工程学院下面的最大学术部门,它在全美机械工程专业排名top5,这里针对机械工程诸多领域进行研究,包括微纳米工程专业,它主要探索新的纳米和微型制造方法以及由纳米和微米尺度现象实现的新材料和系统特性,对学生进行微型和纳米技术教育,并确定可以从微型和纳米工程中受益的重要问题。
该小组的研究兴趣广泛,包括纳米结构(例如纳米线、纳米管、纳米粒子等)的热学和物理特性、可扩展纳米制造、传感器、燃料电池、热电学、电力系统、微型医学超声成像系统、CMOS-MEMS 集成、无线 MEMS 设备、声学和光声传感器、纳米机械设备、生物传感器、微流体、电子热管理、质谱和扫描探针的离子源,以及用于增材纳米制造的聚焦电子束诱导沉积。
实验室设施包括电化学合成和表征、化学气相沉积、瞬态和稳态热计量、拉曼显微镜、阻抗谱、纳米多孔材料表征、安捷伦快速气相色谱、聚对二甲苯沉积系统、传感器表征工具和 AFM 显微镜。
针对微纳米工程也提供诸多研究设施,包括:
MEMS制造洁净室
J. Erskine Love Jr. 制造大楼(教师和研究生办公室和实验室)
纳米结构界面修饰实验室
微电子研究中心
纳米级热测量与制造实验室